半导体氧化物气敏传感材料及传感器开发应用

　　开发了系列晶体缺陷以及颗粒尺寸调控技术，合成了具有丰富晶体缺陷、高比表面积的高灵敏度气敏材料，其检测下限达到了相应气体的最低允许浓度水平。同时，为了拓展气敏传感器检测范围，利用了场效应晶体管的电压调制功能，设计了气敏传感器信号调制电路，成功地将气敏传感器对低浓度气体的检测下限降低1-2数量级、对高浓度气体的检测上限提高1-2个数量级，实现ppb级微污染气体检测与%量级爆炸气体的检测。同时,制作了检测模块，用于室内新风系统中的污染物检测与控制。